| Produktname: | Interferometer-Maß-System Laser-SJ6000 | Linearer Messbereich: | 0~80m |
|---|---|---|---|
| Auflösung: | 1nm | Laser-Frequenzgenauigkeit: | 0.05ppm |
| Betriebstemperatur:: | (0-40) ℃ | Dynamische Gefangennahmenrate:: | 50KHz |
| Hervorheben: | Einfrequenzlaser-Interferometer,Messgeräte 0.05ppm,Messgeräte der Entschließungs-1nm |
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Das Laserinterferometer gilt als hochpräzise und hochempfindliche Messmethode, die die Lichtwellenlänge als Kriterium nutzt und häufig in High-End-Fertigungsbereichen eingesetzt wird. Das Laserinterferometersystem SJ6000 umfasst einen Hochfrequenz-Helium-Neon-Lasergenerator eines US-amerikanischen Anbieters, hochpräzise Umgebungskompensationsmodule, fortschrittliche Laserinterferenzsignalverarbeitung und ein leistungsstarkes Computersteuerungssystem.
Der SJ6000 nutzt die thermische Frequenzstabilisierungstechnologie des Laser-Dual-Longitudinal-Modus und das optische Interferenzpfaddesign mit geometrischen Parametern und liefert schnell (ca. 6 Minuten) eine langzeitstabile, hochpräzise (0,05 ppm) Laserleistung mit leistungsstarker Anti-Interferenz-Leistung. Mit verschiedenen Prismenmodulen können Linearität, Winkel, Geradheit, Ebenheit und Rechtwinkligkeit gemessen und dynamische Eigenschaften analysiert werden.
| Parameter | Spezifikation |
|---|---|
| Messmethode | Einzelfrequenz |
| Genauigkeit der Laserfrequenz | 0,05 ppm |
| Dynamische Erfassungsrate | 50 kHz |
| Aufwärmzeit | Ungefähr 6 Minuten |
| Betriebstemperatur | (0-40)℃ |
| Umgebungsbedingungen | Temperatur: (0–40)℃, Luftfeuchtigkeit: 0–95 % |
| Lagertemperatur | -20℃ bis 70℃ |
| Sensortyp | Spezifikation |
|---|---|
| Atmosphärentemperatursensor | ±0,1℃ (0-40)℃, Auflösung: 0,01℃ |
| Materialtemperatursensor | ±0,1℃ (0-40)℃, Auflösung: 0,01℃ |
| Sensor für Luftfeuchtigkeit | ±5 % (0-95 %) |
| Atmosphärendrucksensor | ±0,1 kPa (65–115) kPa |
| Parameter | Spezifikation |
|---|---|
| Messbereich | (0-80)m |
| Messgenauigkeit | 0,5 ppm (0-40)℃ |
| Messauflösung | 1nm |
| Maximale Messgeschwindigkeit | 4m/s |
| Parameter | Spezifikation |
|---|---|
| Axialer Bereich | (0-15)m |
| Messbereich | ±10° |
| Genauigkeit | ±(0,02 %R+0,1+0,24M)″ (R ist ein Anzeigewert, Einheit: ″; M ist die gemessene Länge in m) |
| Messauflösung | 0,1″ |
| Parameter | Spezifikation |
|---|---|
| Axialer Bereich | (0-15)m |
| Ebenheitsmessbereich | ±1,5 mm |
| Genauigkeit | ±(0,2 %R+0,02M²)μm (R gibt den Wert in μm an; M ist die gemessene Länge in m) |
| Substratgröße | 180 mm verstellbar, 360 mm verstellbar |
| Messauflösung | 0,1 μm |
| Typ | Achsenbereich | Messbereich | Genauigkeit | Auflösung |
|---|---|---|---|---|
| Kurze Geradlinigkeit | (0,1-4)m | ±3,0 mm | ±(0,5+0,25%R+0,15M²)μm | 0,01 μm |
| Lange Geradlinigkeit | (1-20)m | ±3,0 mm | ±(5,0+2,5%R+0,015M²)μm | 0,01 μm |
| Typ | Achsenbereich | Messbereich | Genauigkeit | Auflösung |
|---|---|---|---|---|
| Kurze Geradlinigkeit | (0,1-3)m | ±3,0 mm | ±(2,5+0,25%R+0,8M)μm/m | 0,01 μm |
| Lange Geradlinigkeit | (1-15)m | ±3,0 mm | ±(2,5+2,5%R+0,08M)μm/m | 0,01 μm |