| Produktname: | Interferometer-Maß-System Laser-SJ6000 | Linearer Messbereich: | 0~80m |
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| Auflösung: | 1nm | Laser-Frequenzgenauigkeit: | 0.05ppm |
| Betriebstemperatur:: | (0-40) ℃ | Dynamische Gefangennahmenrate:: | 50KHz |
| Hervorheben: | Interferometer-Maß-System Laser-0.05ppm,Interferometer-Maß-System Laser-1nm,messendes Interferometer der Verschiebungs-1nm |
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Die Laserinterferometrie gilt als hochpräzise, hochempfindliche Messmethode, bei der die Lichtwellenlänge als Kriterium verwendet wird und in der High-End-Fertigung weit verbreitet ist.Das SJ6000-Laser-Interferometer-System enthält einen Hochfrequenz-Helium-Neon-Lasergenerator eines US-Lieferanten, hochpräzise Umweltkompensationsmodule, fortschrittliche Laser-Interferenz-Signalverarbeitung und ein leistungsstarkes Computersystem.
Mit der thermischen Frequenzstabilisierungstechnologie mit Laser-Doppel-Längslängen-Modus und geometrischen Parametern Interferenzoptischen Pfaddesign liefert der SJ6000 langfristige stabile,Hochpräzision (0.05 ppm) Laserleistung innerhalb von ca. 6 Minuten, mit leistungsstarker Anti-Interferenzleistung. Mit verschiedenen Prismmodulen misst es Linearität, Winkel, Geradheit, Flachheit, Senkrechtheit,und analysiert dynamische Eigenschaften.
| Systemparameter | Umweltsensoren |
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Messmethode:Einzelfrequenz Laserfrequenzgenauigkeit:00,05 ppm Dynamische Erfassungsrate:50 kHz Aufwärmzeit:~ 6 Minuten. Betriebstemperatur:0 bis 40 °C Umwelt:0-40°C, Luftfeuchtigkeit 0-95% Lagertemperatur:-20°C bis 70°C |
Atmosphärische Temperatur±0,1°C (0-40°C), Auflösung 0,01°C Materialtemperatur:±0,1°C (0-40°C), Auflösung 0,01°C Luftfeuchtigkeit:± 5% (0-95%) Atmosphärischer Druck:Bei der Prüfung der Leistungsfähigkeit ist die Leistung zu messen. |
| Lineare Messung | Winkelmessung |
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Messbereich:0 bis 80 m Messgenauigkeit:0.5 ppm (0-40°C) Die Entschließung:1 nm Höchstgeschwindigkeit:4 m/s |
Achsbereich:0 bis 15 m Messbereich:±10° Genauigkeit:±(0,02%R+0,1+0,24M) " Die Entschließung:0.1′′ R = Anzeigewert (′′), M = gemessene Länge (m)
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| Flächenmessung | |
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| Achsbereich:0 bis 15 m | Messbereich:±1,5 mm |
| Genauigkeit:± 0,2%R+0,02M2) μm | Die Entschließung:0.1 μm |
| Größe des Substrats:180 mm einstellbar, 360 mm einstellbar | |
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R = Anzeigewert (μm), M = gemessene Länge (m)
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| Messung der Geraden | Kurze Gerade | Lange Gerade |
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| Achsenbereich | 0.1-4 m | 1 bis 20 m |
| Messbereich | ± 3,0 mm | ± 3,0 mm |
| Genauigkeit | ± 0,5+0,25%R+0,15M2) μm | ± ((5,0+2,5%R+0,015M2) μm |
| Entschließung | 00,01 μm | 00,01 μm |
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R = Anzeigewert (μm), M = gemessene Länge (m)
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| Messung der Perpendikularität | Kurze Gerade | Lange Gerade |
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| Achsenbereich | 0.1-3 m | 1 bis 15 m |
| Messbereich | ± 3,0 mm | ± 3,0 mm |
| Genauigkeit | ± 2,5+0,25%R+0,8M) μm/m | ± 2,5 + 2,5%R + 0,08M) μm/m |
| Entschließung | 00,01 μm | 00,01 μm |
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R = Anzeigewert (μm), M = gemessene Länge (m)
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